楚環科技RTO系統在半導體行業治理應用

時間：2024-07-09 13:37

來源：楚環科技

本文主要是概述了楚環科技承接的車間生產線廢氣治理項目。

項目背景

業主是一家高端光學膜材科技企業。聚焦高機能材料領域，以光學設計、精密涂布工藝、核心材料技術為支柱，構建高端光學膜材產品解決方案創新平臺。其產品覆蓋電視/IT顯示表面處理、OLED顯示光學薄膜、車載顯示光學薄膜和uLED/mLED顯示光學薄膜等多個領域。

制造基地項目效果圖

該公司總部及高機能半導體材料研發制造基地項目總投資約30億元。項目建設分為涂布型OLED相位差補償膜項目和集成電路功能膜項目，建成后將填補國內相關產業鏈空白，實現OLED偏光片光學補償膜國產化，為國內首條涂布型相位差膜量產線。杭州楚環科技股份有限公司承接本次車間生產線廢氣治理。

在此項目的執行過程中，楚環科技項目團隊憑借其卓越的執行力及產出的高質量成果，贏得了業主單位的高度認可與贊譽。團隊所展現的高度專業性和敬業精神，確保項目能夠按照既定計劃穩步推進，最終圓滿達成項目目標，實現了完美的收官。

項目參數

污染來源：車間生產過程中涂布線（含配液、涂布機、干燥箱、清洗等）排放的尾氣

處理設備：冷凝+干式過濾+沸石轉輪+ RTO

廢氣風量：75000m3/h

污染物組分：甲苯、環己酮、丙二醇甲醚、正丁酯、仲丁醇、雙丙酮醇

處理效果：凈化效率≥98%，排放濃度：總VOCs<60mg/m3

技術設計

本項目對車間的涂布生產線排放的VOCs進行治理。當有機廢氣的流量大、濃度低時，采用直接蓄熱燃燒需消耗大量燃料時，可先采用吸附手段將有機廢氣吸附進行濃縮，然后再通過高溫熱風吹掃，使有機廢氣脫附成為高濃度廢氣后再進行熱氧化分解。當廢氣濃度足夠高時，僅需要補充少量熱源就可維持系統正常運行。采用轉輪吸脫附+蓄熱氧化裝置進行廢氣凈化處理，沸石轉輪處理設計濃縮7~10倍，濃縮后的小風量高濃度廢氣由風機引入RTO爐進行氧化分解，轉輪的脫附熱空氣可利用RTO配置的高溫換熱器進行預熱。